修習隨觀內、外、內外之後，接下來的層次是隨觀 生法、滅法、生滅法。於此，同樣以隨觀於身為例，在經中所載的是：

他安住於身，隨觀生法；或他安住於身，隨觀滅法；或他安住於身，隨觀生、滅法。

在這個層次上，隨觀於身者，是指隨觀組成物質身體的色法及其因緣，藉由隨觀色法及其因緣的生起或滅去，或是從生起到滅去，修習者將直接經驗到一切事物都在變化的事實，因而發展出穿透式的見解— 照見無常的本然真實。

如實了知無常，是體證苦和無我的重要基礎，漸漸地，修習者體悟到無「我」、無「我所」的智慧將會生起。

隨觀於受、隨觀於心者，所隨觀的是精神層次的究竟名法;隨觀於法者，則包含色法、名法及其因緣。此三者的修習過程，也同樣需經隨觀生法、滅法、生滅法的次序。